2024年是新中國成立75周年，是實現(xiàn)“十四五”規(guī)劃目標任務(wù)的關(guān)鍵一年。為全面貫徹落實黨的二十大精神和習近平文化思想，中國有研舉辦了“思想領(lǐng)航 賦能向新”優(yōu)秀故事征集活動。參賽作品充分展現(xiàn)集團上下深入貫徹落實“1+360+N”有研特色黨建工作體系，圍繞中國有研作為中央企業(yè)行業(yè)院所“托底、引領(lǐng)和賦能”三大核心功能，在服務(wù)國家重大戰(zhàn)略、強化創(chuàng)新引領(lǐng)、履行社會責任、弘揚時代新風等方面作出的新貢獻、新成就，生動講述了有研人在平凡崗位上創(chuàng)造非凡業(yè)績的奮斗故事。

本期推出“思想領(lǐng)航 賦能向新”有研故事系列展播（二）——牢記使命，區(qū)熔硅單晶創(chuàng)新團隊奔向新征程！

作者：有研硅 王永濤

區(qū)熔硅單晶創(chuàng)新團隊，依托集成電路關(guān)鍵材料國家工程研究中心及有研半導體硅材料股份公司區(qū)熔事業(yè)部組建，是國內(nèi)最早開展區(qū)熔硅單晶材料的研發(fā)團隊。團隊現(xiàn)有核心成員9人，其中正高級工程師1人、高級工程師2人、生產(chǎn)技術(shù)人員6人。團隊系統(tǒng)開展超高純區(qū)熔硅單晶制備技術(shù)、區(qū)熔單晶自動放肩技術(shù)和區(qū)熔熱場設(shè)計技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)；榮獲授權(quán)專利12篇，參與制定國家標準2項，實現(xiàn)了8英寸區(qū)熔單晶的批量化生產(chǎn)，是國內(nèi)僅有的兩家掌握相關(guān)技術(shù)的廠家之一，產(chǎn)品技術(shù)指標達到國際先進水平，同時有力推動了區(qū)熔多晶和區(qū)熔爐的國產(chǎn)化應用，有效彌補了國內(nèi)短板，保障了我國新能源、高鐵等領(lǐng)域用電力芯片供應鏈自主可控。

10年前，即使是這樣優(yōu)秀的團隊仍要面對殘酷的市場淘汰，不得不直面生死存亡問題。進入21世紀10年代中期，區(qū)熔硅單晶的市場價格直接腰斬，一度輝煌的區(qū)熔硅單晶產(chǎn)業(yè)變得不堪一擊，加之自身長期存在的一些隱性問題，在發(fā)展緩慢之后暴露出來，讓整個團隊驚出一身冷汗。由于遠離終端市場，對市場需求的了解不夠充分，產(chǎn)品逐漸脫離市場。面對市場主流產(chǎn)品已經(jīng)逐步過渡到5英寸甚至是6英寸、8英寸產(chǎn)品時，我們的產(chǎn)品仍集中在4英寸及以下，5英寸產(chǎn)品收率還不穩(wěn)定，6英寸產(chǎn)品還在研發(fā)。當時，還面臨著技術(shù)傳承斷層，生產(chǎn)效率、產(chǎn)品收率低于市場水平，生產(chǎn)成本遠高于市場價格等一系列問題。

回顧過往，我們何其自豪，歷史上的區(qū)熔硅單晶創(chuàng)新團隊在1961年成功拉制了中國第一顆區(qū)熔硅單晶，在1990年至1999年相繼成功拉制了國內(nèi)第一顆3寸、4寸、5寸半導體級區(qū)熔硅單晶，是國內(nèi)最早開展區(qū)熔硅單晶材料研究及產(chǎn)業(yè)化的單位?，F(xiàn)如今技術(shù)落后、產(chǎn)品落后、前途暗淡、前景渺茫。從繁榮到衰敗的落差在大家心里形成了巨大的旋渦，讓人深陷其中，難以掙脫。此時的團隊出現(xiàn)了動搖，有的老技術(shù)人員離開了，新技術(shù)人員還未成長起來，想要堅守拼搏下去的人此時也沒了方向，只能獨自掙扎轉(zhuǎn)個不停。

2012年的區(qū)熔車間

2024年的區(qū)熔車間

迷茫之際，中國有研黨委書記、董事長趙曉晨多次前往有研硅順義廠區(qū)區(qū)熔硅單晶車間調(diào)研指導，不斷鼓勵團隊成員，并為未來的發(fā)展指明了方向。他指出，半導體區(qū)熔單晶硅片是半導體硅材料中的細分領(lǐng)域，已成為國內(nèi)半導體材料領(lǐng)域電力電子芯片供應鏈中不可或缺的一環(huán)，其高純度、高電阻率、低氧含量等優(yōu)點，是制造高壓整流器等大功率器件、探測器、傳感器等敏感器件的核心材料，可廣泛應用于雷達、微波通訊、測控、導航、醫(yī)學等領(lǐng)域，對國民經(jīng)濟的發(fā)展和國防建設(shè)具有十分重要的意義。特別是近年來，伴隨高速鐵路、新能源汽車、電力傳輸?shù)阮I(lǐng)域的快速發(fā)展，建立在區(qū)熔硅單晶基礎(chǔ)上的中高壓功率器件展現(xiàn)出廣闊的應用前景，市場需求保持旺盛。他對團隊成員寄予希望，我們要以國家戰(zhàn)略需求為導向，通過區(qū)熔硅單晶制備技術(shù)創(chuàng)新，不斷提升產(chǎn)品質(zhì)量，保障核心材料自主可控；并希望我們時刻懷揣著激情與夢想，懷揣著對未來的憧憬與渴望，以只爭朝夕的精神，加快推進科技創(chuàng)新和技術(shù)研發(fā)進程。

彷徨之際，有研硅黨總支書記、總經(jīng)理張果虎多次召開技術(shù)討論大會，大力支持項目團隊，明確技術(shù)發(fā)展路徑。他鼓勵我們要積極發(fā)揮區(qū)熔硅單晶制備技術(shù)平臺優(yōu)勢，進一步全面推進原材料和設(shè)備的國產(chǎn)化，要積極與國內(nèi)多家材料供應商和設(shè)備制造商建立合作關(guān)系，共同攻克技術(shù)難關(guān)，逐步實現(xiàn)從多晶硅原料到拉晶設(shè)備的全面國產(chǎn)化，大大降低生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率，從源頭實現(xiàn)真正的國產(chǎn)替代。他也希望我們以嚴謹?shù)目蒲凶黠L，突出的科研能力，優(yōu)秀的綜合素質(zhì)，不斷攻關(guān)研發(fā)過程中技術(shù)難點，持續(xù)破解前進道路上的發(fā)展難題。

區(qū)熔硅單晶創(chuàng)新團隊以國家戰(zhàn)略需求為導向，以市場需求為指引，開拓進取，以人才引進和科技創(chuàng)新為抓手，勤修內(nèi)功，技術(shù)水平和產(chǎn)品質(zhì)量顯著提升。

2021年，團隊成功研發(fā)了自動放肩技術(shù)，超高純區(qū)熔硅單晶拉制技術(shù)和氣相摻雜區(qū)熔硅單晶拉制技術(shù)也持續(xù)提高，使得區(qū)熔硅單晶2021年的產(chǎn)量較2019年提升230%。

2022年，團隊實現(xiàn)了8英寸半導體級區(qū)熔硅單晶的批量生產(chǎn)，達到國際先進水平；同時，新車間升級改造完成，新區(qū)熔單晶爐也安裝到位，使得區(qū)熔硅單晶當年產(chǎn)量較2021年提升41%。

2023年，團隊成功開發(fā)出8英寸本征及氣摻區(qū)熔硅單晶，憑借其導電型號全、電阻率范圍寬、成本低、生產(chǎn)周期短的優(yōu)點，極大擴展了產(chǎn)品應用范圍，已通過株洲中車、士蘭微、青島芯恩、艾佛廣通等廠家驗證，并在2024年初實現(xiàn)8英寸區(qū)熔產(chǎn)品的批量銷售，有效彌補了國內(nèi)短板。

8英寸本征及氣摻區(qū)熔硅單晶

現(xiàn)如今，區(qū)熔硅單晶創(chuàng)新團隊正邁著堅實的步伐，一路前行，走到了行業(yè)領(lǐng)域的前面，站在技術(shù)領(lǐng)域的排頭。未來，我們將在黨組織的帶領(lǐng)下，不畏艱難，奮勇向前，引領(lǐng)區(qū)熔硅產(chǎn)業(yè)走向新征程！