2017年5月8日,國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”(簡(jiǎn)稱“02重大專項(xiàng)”)實(shí)施管理辦公室和總體組組織任務(wù)專家組和財(cái)務(wù)專家組對(duì)有研半導(dǎo)體承擔(dān)的“200mm硅片產(chǎn)品技術(shù)開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化能力提升”項(xiàng)目進(jìn)行了正式驗(yàn)收。北京市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會(huì)主管領(lǐng)導(dǎo)及02專項(xiàng)總體組技術(shù)總師到會(huì)。我院黃松濤副院長(zhǎng)和周旗鋼副院長(zhǎng)參加了驗(yàn)收會(huì)。參會(huì)人員還包括會(huì)計(jì)師事務(wù)所項(xiàng)目主審、用戶代表、項(xiàng)目責(zé)任專家、項(xiàng)目(課題)負(fù)責(zé)人、地方科技主管部門人員及我司參與項(xiàng)目的主要骨干。
該項(xiàng)目形成了200mm硅單晶拋光片和200mm硅外延片制備的成套技術(shù),建成月產(chǎn)10萬片的生產(chǎn)線,自主開發(fā)了200mm硅單晶輕摻拋光片、200mm硅單晶重?fù)綊伖馄戎攸c(diǎn)產(chǎn)品,達(dá)到0.13微米技術(shù)水平,產(chǎn)品為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先集成電路廠商批量應(yīng)用,并獲得海外知名廠商的正片訂單。經(jīng)過任務(wù)資料審查、財(cái)務(wù)資料審查、現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試、現(xiàn)場(chǎng)考察、任務(wù)會(huì)議驗(yàn)收、財(cái)務(wù)會(huì)議驗(yàn)收等多個(gè)環(huán)節(jié)的驗(yàn)收,與會(huì)專家認(rèn)為各項(xiàng)任務(wù)和指標(biāo)均已達(dá)成,一致同意項(xiàng)目及其兩個(gè)課題通過任務(wù)和財(cái)務(wù)驗(yàn)收,并給予優(yōu)秀分?jǐn)?shù)評(píng)價(jià)。
該項(xiàng)目是有研半導(dǎo)體近年來重點(diǎn)開展的核心技術(shù)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目,項(xiàng)目的順利開展實(shí)現(xiàn)了我國(guó)200mm硅材料產(chǎn)業(yè)升級(jí),使企業(yè)獲得了科研成果和市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)效應(yīng)的雙豐收,促進(jìn)了公司產(chǎn)品結(jié)構(gòu)優(yōu)化調(diào)整。目前200mm硅片產(chǎn)品市場(chǎng)需求旺盛,具有良好的發(fā)展前景,公司將抓住市場(chǎng)機(jī)遇、擴(kuò)大市場(chǎng)份額、持續(xù)穩(wěn)定發(fā)展。